Evaporadora (PVD)
O laboratório possui um sistema de deposição física de vapor (PVD) da fabricante Thermionics Laboratory, modelo VE-160. Esse equipamento apresenta dois módulos de operação: por feixe de elétrons e por efeito Joule. Na evaporação por feixe de elétrons os vapores necessários para a deposição são obtidos a partir do foco de um feixe de elétrons energético no cadinho contendo o material que se deseja depositar e aquecendo-o até atingir seu ponto de evaporação. Já pela evaporação térmica, os materiais a serem evaporados são colocados em cadinhos condutores (grafite ou tungstênio) que são intensamente aquecidos por efeito Joule, até a sua evaporação.
O sistema dispõe de:
- Canhão de elétrons com 3kW.
- Shutters pneumáticos.
- Sample holder giratório.
- Sample holder com aquecimento, até 300°C, Lampadas halogenias.
- Modo de deposição por efeito Joule.
- Pressão de Trabalho ~ 1E-8 até 2E-6 torr (bomba turbomolecular 600l/s)
- Possibilidade de 3 alvos para e-beam e 2 alvos efeito Joule.
- Cristal de Quartzo para controle de Espessura (res: 0.1 A).
Manuais de operação:
EV – THERMIONICS VE-160-PVD MANUAL
EV – THERMIONICS e-Beam Control manual
EV – THERMIONICS Resistive Control manual
Maiores informações: Profa. Dra. Cristiani Campos Plá Cid e Profa. Dra. Deise Schafer, contatos: cristiani.campos@ufsc.br e deise.schafer@ufsc.br
Outros Lab´s e instituições com equipamentos semelhantes ou afins:
- Laboratório de Filmes Finos e Superfícies – LFFS (UFSC) – Florianópolis/SC
- Laboratório de Novos Materiais Semicondutores – LNMS (USP) – São Paulo/SP
